Βαλβίδα αερίου εξαιρετικά υψηλής καθαρότητας ενός ιντσίου για εργοστάσια ημιαγωγών και αναλυτικά εργαστήρια με ηλεκτροφωτισμένες επιφάνειες και παρακολούθηση σωματιδίων

Σχεδιασμένη με ακρίβεια για περιβάλλοντα ευαίσθητα σε μόλυνση, αυτή η ελεγχόμενη από σωματίδια βαλβίδα αερίου ενός ιντσών εξασφαλίζει την ακεραιότητα σε κρίσιμα συστήματα διανομής αερίου. Διαθέτει ανοξείδωτο χάλυβα 316L-VAR με <0.5 Ra µm ηλεκτρο-γυαλισμένο φινίρισμα, αυτή η βαλβίδα αερίου υψηλής καθαρότητας επιτυγχάνει πρότυπα σωματιδίων Class 1/ISO 2 για αέρια διεργασίας ημιαγωγών. Ο αυτο-ευθυγραμμιζόμενος κωνικός σχεδιασμός στεγανοποίησης εξαλείφει την επαφή μετάλλου με μέταλλο, αποτρέποντας τη δημιουργία σωματιδίων κατά τη διάρκεια 100.000+ ενεργοποιήσεων. Ως απαραίτητη βαλβίδα αερίου εργαστηρίου, ενσωματώνει στεγανοποιήσεις προσώπου τύπου VCR για στεγανότητα σε διαρροή ηλίου 1x10⁻⁹ atm-cc/sec He, διατηρώντας την καθαρότητα σε επίπεδο ppb για ειδικά αέρια όπως αρσίνη και σιλάνιο. Οι στεγανοποιήσεις στελέχους PTFE που δεν αποβάλλονται και η διαμόρφωση μηδενικού νεκρού ποδιού πληρούν τα πρότυπα SEMI F72. Περιλαμβάνει ενσωματωμένες θύρες παρακολούθησης σωματιδίων για επιτόπια επαλήθευση συμμόρφωσης ISO 14644-1 Class 3 κατά την εγκατάσταση.

Σημεία με κουκκίδες:
✓ Καθαρότητα νανοκλίμακας: <5 particles>0.1μm ανά λίτρο (ανά IEST RP CC001.6)
✓ Στεγανοποίηση χωρίς φυσαλίδες: 1x10⁻⁹ ρυθμός διαρροής ηλίου atm-cc/sec
✓ Ανοσία στη διάβρωση: Παθητικοποιείται σύμφωνα με τη μέθοδο νιτρικού οξέος ASTM A967
✓ Λειτουργία χωρίς κραδασμούς: Σχεδιασμός στελέχους κατά της αντήχησης
✓ Αποδεδειγμένο σε εργοστάσια: Συμμορφώνεται με το SEMI F72 βαλβίδα αερίου εργαστηρίου

Σενάριο εφαρμογής:
Σε ένα καθαρό δωμάτιο ημιαγωγών, οι τεχνικοί εγκαθιστούν βαλβίδες χρησιμοποιώντας μετρητές σωματιδίων για να επαληθεύσουν τη μηδενική μόλυνση κατά την έναρξη λειτουργίας της γραμμής αερίου κατασκευής τσιπ 5nm.

Συχνές ερωτήσεις:

Ε: Τι πιστοποίηση σωματιδίων συνοδεύει αυτή τη βαλβίδα αερίου υψηλής καθαρότητας;
Α: Αναφορές IEST-CC0016 Class 1 με δεδομένα κατανομής σωματιδίων 0.1-5.0μm.

Ε: Είναι οι βαλβίδες αερίου εργαστηρίου συμβατές με τοξικά πρόσθετα;
Α: Ναι, σχεδιασμένες για αέρια SEMI S2 Κατηγορίας 1 με πλήρη συμβατότητα υλικών.

Ε: Μπορώ να ενσωματώσω παρακολούθηση σωματιδίων χωρίς διακοπή της διαδικασίας;
Α: Ναι, οι θύρες δειγματοληψίας επιτρέπουν επιτόπια επαλήθευση συμμόρφωσης ISO 14644-1.

Ε: Ποια είναι η απόδοση εκπομπής αερίων;
Α: <1x10⁻⁹ g/cm²/sec TML/CVCM ανά NASA-STD-6001B.

Ε: Παρέχετε πρωτόκολλα ελέγχου μόλυνσης κατά την εγκατάσταση;
Α: Διατίθενται λεπτομερή κιτ εγκατάστασης που συμμορφώνονται με το ISO 14644-5.